EG-610型OZONE MONITORS（以下称为显示器）是配备微处理器的嵌入式显示器。它们已经发展为用于控制半导体制造过程中的臭氧浓度以及用于控制在同一过程中使用的高浓度臭氧发生器的传感器。它由主体（控制单元）和检测器单元组成，仅通过将管道连接到检测器单元的两端即可连续测量臭氧浓度。使用此监视器，可以使用外部信号或前面板上的开关轻松执行零位校准。除零气体吸入（采样气体吹扫）计时器外，还有另一个内置的时间间隔计时器，可以以任意设置的时间间隔定期执行零校准。即使在关闭电源时，也会存储此时获得的零校准值，并在下次打开电源时应用 很后的零校准值。自诊断功能监视并显示监视器内部的异常。由于此监视器在检测器单元内部具有内置温度传感器，因此可以执行气体温度补偿。类似地，由于压力传感器内置在检测器单元中，因此气压可以自动补偿为大气压。通过使用可选的串行端口，您可以通过与主机进行数据通信来获取更准确的数字数据。
内置式臭氧浓度计， 很高支持20 L/min。这是EG-600的新产品。
压力补偿和温度补偿是标准设备，即使在压力管线上也可以进行准确的臭氧测量。通过丰富的输入/输出信号和通讯软件支持各种系统。连续测量公式可实现快速响应。
名称：在线臭氧监测仪
型号：EG-610
实测流量：0.5至20 L / min
*即使以0.1 L / min或更低的规定流量也可以进行测量，但是臭氧分解和响应时间可能会有所延迟。
测量浓度范围：0至10.0，20.0，30.0，40.0，50.0，100，200，300，400，500，1000，2000，3000g / m 3（N）/ 0至10.0，20.0wt％
*请联系我们以获取其他浓度列出。另外，对于没有压力补偿的情况，为500g / m 3（N）和1000g / m 3（N），浓度范围为2000g / m 3（N）或更高用于可选的减压校正。
显示位数：4位数字显示
泵：无
*需要样气压力。根据测量条件，也可以使用外部泵进行抽吸。
压力补偿：标准：0至0.3 MPa（G）
选件：***压力传感器500至1961 hPa（abs），减压传感器（测量范围2000 g / m 3（N）或更高时）10至343 hPa（abs）
温度补偿：0℃校正（标准设备）
外形尺寸：控制单元：72W x 200D x 200H mm
检测单元：110W x 90D x 160H mm
（不包括突起）
重量：控制单元：1.6千克
检测单元：1.6千克
接口：1/4英寸管的VCR等效接头（可更换）
电源：标准：AC100-240V±10％，50 / 60Hz
选件：DC24V规格
能量消耗：25VA
监控输入：自动零定时输入，光耦合器驱动
监控输出：温度报警，测量信号，监控错误
模拟量输出：标准：DC0至1V / DC0至10V
选件：DC4至20mA绝缘
数字量输出：选件：RS-232C，通讯软件
自我诊断功能：检测并显示光源异常，电池脏污和内部电路异常
测量方式：紫外线吸收法
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